Bewerkingsmethode met bewerkingsnauwkeurigheid tot 1 μ M. Precisiebewerking wordt gerealiseerd door middel van precisie-bewerkingsmachines, meetinstrumenten en meters onder strikte controle van omgevingsomstandigheden. Het wordt ultraprecisiebewerking genoemd wanneer de bewerkingsnauwkeurigheid 0,1 μM bereikt of overschrijdt.

Het technologische effect van precisiebewerking is als volgt:

De nauwkeurigheid van geometrische vorm en onderlinge positie van onderdelen kan micron of hoekseconde bereiken;

De tolerantie van de limiet of kenmerkafmeting van het onderdeel is lager dan de micrometer;

De oppervlakte-micro-oneffenheden (gemiddeld hoogteverschil van de oppervlakte-oneffenheden) van onderdelen is minder dan 0,1 μm;

De onderlinge fittingen kunnen voldoen aan de eisen van het combineren van kracht;

Sommige onderdelen kunnen ook voldoen aan de vereisten van precieze mechanische of andere fysische eigenschappen;